●高阻尼機(jī)構(gòu)可迅速衰減擺動(dòng)
●特殊水平機(jī)構(gòu)可發(fā)揮優(yōu)異的隔振性能
●全系列采用統(tǒng)一高度
●自動(dòng)調(diào)平功能可對(duì)應(yīng)偏載狀態(tài)
●可用于無塵室(集中排氣:選項(xiàng))
●附帶防止過度上浮機(jī)構(gòu)
■特點(diǎn)
●高阻尼機(jī)構(gòu)可迅速衰減擺動(dòng)
●特殊水平機(jī)構(gòu)可發(fā)揮優(yōu)異的隔振性能
●全系列采用統(tǒng)一高度
●自動(dòng)調(diào)平功能可對(duì)應(yīng)偏載狀態(tài)
●可用于無塵室(集中排氣:選項(xiàng))
●附帶防止過度上浮機(jī)構(gòu)
■用途
●電子顯微鏡用(掃描式、透射式顯微鏡)
●半導(dǎo)體制造裝置、檢查裝置(步進(jìn)式曝光機(jī)、FIB裝置)
●化學(xué)分析設(shè)備(薄膜硬度計(jì)、核磁共振儀)
●各種精密檢查及測(cè)量?jī)x、平臺(tái)

■性能
◆振動(dòng)傳遞率(AMG100裝置:裝載500kg時(shí))
水平1.5Hz 垂直2.5Hz

◆振動(dòng)波形(AMG100裝置:裝載500kg時(shí))
一般:約4sec→高性能:約1.5sec

■規(guī)格
使用壓力范圍 : 0.1~0.4(MPa) / 固有振動(dòng)數(shù) : 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下
訂單號(hào) | 型號(hào) | A | B | C | D | 產(chǎn)品重量1個(gè)(4個(gè)) | 容許負(fù)荷(4個(gè)防振座) |
kg | kg | N |
116411 | AMG070 | 125 | 90 | 185 | φ10 | 3.5 (14.0) | ~ 420 | ~ 4116 |
116412 | AMG100 | 150 | 120 | φ10 | 5.2 (20.8) | ~ 730 | ~ 7154 |
116413 | AMG200 | 200 | 160 | φ10 | 8.3 (33.2) | ~1300 | ~12740 |
116414 | AMG500 | 250 | 200 | φ14 | 16.6 (66.4) | ~3000 | ~29400 |
116415 | AMG800 | 320 | 250 | φ18 | 28.1(112.4) | ~4700 | ~46060 |