ERON-NABEYA雅朗 E-9942/內(nèi)置防振座(重型
品牌:ERON(雅朗)
型號:G5C32E8937C211
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ERON(雅朗)區(qū)域經(jīng)理 李經(jīng)理:18929218517咨詢●特殊水平機構(gòu)可發(fā)揮優(yōu)異的隔振性能
●全系列采用統(tǒng)一高度
●自動調(diào)平功能可對應(yīng)偏載狀態(tài)
●可用于無塵室(集中排氣:選項)
●附帶防止過度上浮機構(gòu)
■用途
●半導(dǎo)體制造裝置、檢查裝置(步進式曝光機、FIB裝置)
●化學(xué)分析設(shè)備(薄膜硬度計、核磁共振儀)
●各種精密檢查及測量儀、平臺
■性能
水平1.5Hz 垂直2.5Hz
一般:約4sec→高性能:約1.5sec
■規(guī)格
使用壓力范圍 : 0.1~0.4(MPa) / 固有振動數(shù) : 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下
訂單號 | 型號 | A | B | C | D | 產(chǎn)品重量1個(4個) | 容許負荷(4個防振座) | |
kg | kg | N | ||||||
116411 | AMG070 | 125 | 90 | 185 | φ10 | 3.5 (14.0) | ~ 420 | ~ 4116 |
116412 | AMG100 | 150 | 120 | φ10 | 5.2 (20.8) | ~ 730 | ~ 7154 | |
116413 | AMG200 | 200 | 160 | φ10 | 8.3 (33.2) | ~1300 | ~12740 | |
116414 | AMG500 | 250 | 200 | φ14 | 16.6 (66.4) | ~3000 | ~29400 | |
116415 | AMG800 | 320 | 250 | φ18 | 28.1(112.4) | ~4700 | ~46060 |
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